真空泵機組的抽速
2022-03-29 18:35????點(diǎn)擊：
任何真空系統都希望盡量縮短抽氣的時(shí)間，這關(guān)系到提高其效率和降低能耗，但并不是所有的真空應用都具有縮短抽氣時(shí)間的條件。真空泵機組真空度要求在0.5pa以上，只要時(shí)間常數足夠的小，便可晝量縮短抽氣的時(shí)間。
真空泵機組真空度要求在0.5Pa以下，就要改慮放氣對壓力變化的影響。放氣量隨時(shí)間的變化緩慢。特別是在無(wú)烘烤的情況下。要在預定較短的時(shí)間內達到較高的真空度，就要以較大的抽速抽除較大的放氣量。也就是說(shuō)如放氣量為Q,泵的有效抽速為S0,則可達到平衡壓力P=Q/S0.如平衡壓力確定，則達到的時(shí)間越短，要求泵的有效抽速就越大。蒸發(fā)鍍膜就是典型的這類(lèi)的應用，由于蒸鍍的速度快，時(shí)間短，所以不考慮放氣量的影響（即活性氣體的影響）。但蒸發(fā)粒子的能量低，要求絕大部分粒子無(wú)碰撞地沉積到工件上，以保證結合力及減少散射，這就要求真空室內的平均自由程不小于蒸發(fā)源到工件的距離，與此相應的壓力約在1×10-2Pa,這便是蒸發(fā)鍍膜對真空度的要求。
如何在盡量短的時(shí)間內達到這一壓力，就對泵的有效抽速提出了要求，原則是時(shí)間越短，由于放氣量越大，有效抽速就要求越大。所以蒸發(fā)鍍膜一般配置抽速強大的油擴散泵機組，功率有數十千瓦，幾分鐘至十幾分鐘內便可達到工作真空度，但該系統對工件造成的油蒸汽污染是難以避免的，特別是塑料金屬化膜層易發(fā)黃。
目前真空泵機組抽速滿(mǎn)足不了大型蒸發(fā)鍍的需要。而大抽速的低溫泵又是工業(yè)化規模鍍膜所承受不了的。根據被抽空間氣體負載的特性，利用分子增壓泵抽除氣體，結合低溫冷凝水捕集泵抽除水蒸汽，有望實(shí)現大抽速獲得清潔真空的全新抽氣工藝。
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